Ključne tehničke tačke pika za pisanje i stvrdnjavanje filma PI

Poliimid (PI): Svojstva i aplikacije

Poliimid (PI) se može pohvaliti najvišom ocjenom retardancije plamena (ul -94), odličnu električnu izolaciju, mehaničku čvrstoću, kemijsku stabilnost, otpornost starenja, i niski dielektrični gubitak. Ova svojstva ostaju stabilna po širokom temperaturnom rasponu ({1}} stepen do 400 stepeni), čineći to izuzetnim polimernim visokim performansama. PI Film trenutno je najbolje obavljajući izolacijski materijal na globalnoj razini, sa širokim aplikacijama u polju mikroelektronike, uključujući:

Premazi za punjenje stresa za preraspodjele preraspodjele

Poboljšanje adhezije spojeva za oblikovanje

Završeni slojevi pasivacije na završenom ICS-u

Low-K separatori između metalnih slojeva u integriranim krugovima

Lepljenje čipa

Interlayer dielektrika

PI se obično primjenjuje u tečnom obliku, a zatim se termički izliječi u filmove ili slojeve za postizanje željenih svojstava. Precizna temperatura u cjelini postupka sušenja je kritična za izbjegavanje pukotina ili promjene boje u PI slojevima. Jedinstvena boja je posebno važna za sustave prepoznavanja uzoraka koji se koriste u sklopu, dok niski nivoi kisika tijekom obrade doprinose svjetlijim materijalima i boljem adheziji.

Vrste poliimida

Ne-fotoosjetljiv polyimid

Fotosenzitivni jonski polimid

Fotosenzitivni ester poliimid

Ne-fotoosjetljiv polyimid

Ne-fotoosjetljivi PI je isplativan i jednostavan za rukovanje. Po nusproizvodi generirani tijekom termalnog očvršćivanja su tečnosti, što obično ne deponovati na zidove prerade. Za pretvaranje PI prekurzara u stabilan PI film, proširen pečenje na visokim temperaturama (otprilike 250 stepeni do 450 stepeni) potrebno je za potpunu imidizaciju. Ovaj proces također uklanja otapalo za lijevanje, n-metil -2- pyrrolidon (NMP) i poravnava polimerne lance za optimalne električne i mehaničke performanse.

Fotosenzitivni poliimid

Fotosilanzitivni PI nudi prednost pojednostavljene obrade u odnosu na ne-foto-pasivan PI jer eliminira potrebu za fotorezistom, smanjujući broj koraka obrade. Međutim, neki fotoosjetljivi prekursori mogu biti izazovni za potpuno volatiliziranje tokom stvrdnjavanja, što dovodi do većeg internog stresa unutar filma u odnosu na standardne PI.

PHINESSENTIVNI PHESERS ESTERje stabilnije od jonskih tipova, s dužim rok trajanja i bolje rastvorljivošću u neizvedenim područjima. Pravilno privlačenje ima za cilj:

Popunite proces imidacije

Optimizirajte filmsko prijanjanje

Uklonite preostale otapala, gasove i fotosenzitivne komponente

Učinkovito isparavanje otapala i fotoosjetljivih elemenata osigurava bolju kontrolu nad procesom umiljavanja. Loša kontrola može rezultirati lokaliziranim mehaničkim stresnim varijacijama preko rezine, negativno utječe na filmsko adheziju. Uz to, kiseonik u okolišu može potamniti pip film.

Kada se tokom obrade primjenjuju više PI slojeva, transparentnost je ključna. Slojevi niskog prozirnosti PI mogu nejaviti oznake poravnanja, komplicirajući višeslojnu obradu. Osiguravanje dosljedne jasnoće PI filma od suštinskog je značaja za precizne poravnanje sloja u složenoj proizvodnji.